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BTF-1200C-S-CVD迷你型CVD系統(tǒng)控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

滑軌式CVD石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)是專為生長(zhǎng)石墨烯、碳納米管研制的生長(zhǎng)專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)，溫區(qū)可獨(dú)立程序控制，設(shè)備操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

迷你型CVD系統(tǒng)控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

BTF-1700C-CVD1700度高溫CVD系統(tǒng) （高真空 低真空可選）是由1700度管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)以及國(guó)產(chǎn)高真空系統(tǒng)（或選配低真空系統(tǒng)）所組成。

回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備： 1、本設(shè)備提供一個(gè)五溫區(qū)的超長(zhǎng)溫場(chǎng)，五個(gè)溫區(qū)可獨(dú)立控制 2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，上下可電動(dòng)開啟。 3、流量計(jì)和加熱采用模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)保養(yǎng)。 4、加熱元件采用康泰爾摻鉬合金電阻絲，z高使用溫度可以達(dá)到1200度，使用壽命長(zhǎng)，溫場(chǎng)流場(chǎng)均勻。 5、采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。 6、設(shè)備集成化設(shè)計(jì)、以及集成化管理，美觀方便

搖擺爐BTF-1200C-SK 1.，30段可編程精密溫度控制器 2.可根據(jù)不同的客戶需求來設(shè)定升降溫程序 3.可設(shè)定取放料工位 4.設(shè)定搖擺起始工位（如橫向作為起始工位），可實(shí)現(xiàn)液晶屏一鍵歸位 5.可通過搖擺提高熔體均勻性、細(xì)化晶粒

非氣態(tài)源化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 1.前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃； 2.溫度獨(dú)立可調(diào)； 3.固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。

微型PECVD系統(tǒng)，它包括小型真空管式爐，石英真空室、真空抽氣與真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬：0-100W可調(diào)； 溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘?-600mm可調(diào)；適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。增加功能容易，可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能。