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微型PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

單溫區(qū)滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD系統(tǒng)，本設(shè)備主要針對(duì)實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長(zhǎng)和制備使用，同時(shí)該設(shè)備可以用于碳納米管的生長(zhǎng)。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

雙爐滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD，該P(yáng)ECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)（進(jìn)口流量計(jì)），真空機(jī)組（進(jìn)口真空泵），PE射頻電源（進(jìn)口射頻源），溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時(shí)擴(kuò)大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實(shí)驗(yàn)要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。

前端預(yù)熱滑軌式簡(jiǎn)易版PECVD 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年，隸屬百思集團(tuán)，其平行公司有百思新材料研究院有限公司、合肥萊德裝備技術(shù)有限公司、天津百諾金科技有限公司、合肥歐萊迪光電技術(shù)有限公司、安徽貝意克智能科技有限公司。貝意克公司于2020年在合肥投資5億元新建5萬平米貝意克智能裝備產(chǎn)業(yè)園。設(shè)有貝意克工程設(shè)計(jì)中心，貝意克工程技術(shù)中心，貝意克聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)公共服務(wù)平臺(tái)。